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由于壓縮空氣對三坐標測量機的正常工作起著非常重要的作用，所以對氣路的維修和保養非常重要。其中有以下主要項目： l每天使用測量機前檢查管道和過濾器，放出過濾器內及空壓機或儲氣罐的水和油。
l一般3個月要清洗隨機過濾器和前置過濾器的濾芯?？諝赓|量較差的周期要縮短。因為過濾器的濾芯在過濾油和水的同時本身也被油污染堵塞，時間稍長就會使測量機實際工作氣壓降低，影響測量機正常工作。一定要定期清洗過濾器濾芯。
每天都要擦拭導軌油污和灰塵，保持氣浮導軌的正常工作狀態。
3. 對測量機導軌的保護要養成良好的工作習慣。
用布或膠皮墊在下面，保證導軌安全。
工作結束后或上零件結束后要擦拭導軌。
當我們在使用三坐標測量機時要盡量保持測量機房的環境溫度與檢定時一致。另外電氣設備、計算機、人員都是熱源。在設備安裝時要做好規劃，使電氣設備、計算機等與測量機有一定的距離。測量機房加強管理不要有多余人員停留。高精度的測量機使用環境的管理更應該嚴格。
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